仪器设备
由 admin 于 星期五, 11/05/2010 - 16:58 发表
三个平行实验平台:
1)纳米功能材料与器件制备和测试平台,自有设备包括美国Stanford SR 830 锁相放大器、Aglient双通道信号发生器81150A、美国Trek公司 610D多功能高压电源、美国MTI公司MTI-2000微应变光电探头;美国惠普公司HP4284,HP4291B,HP4294阻抗分析仪;美国Precision Premier公司多功能铁电压电材料测试系统;中国科学院沈阳科学仪器研制中心设计的FJL560型磁控与粒子束联合溅射设备、激光分子束外延系统;德国Lamdaphysik公司的COMPex205激光器;日本株式会社PLD-50激光镀膜系统等设备;以及多种型号的压电材料烧结炉、热压台、高压源以及极化装置、以及材料加工与测试设备;
磁控溅射系统
PLD系统
电介质测试系统
2)非常规微加工平台,自有设备包括1000级超净实验室,美国ABM公司线宽精度至2微米的光刻机、ICP-98型高密度等离子刻蚀机、倒置荧光显微镜(OLYMPAS, IX71, IX81及配套CCD)、等离子键合机、半导体参数分析仪、高速制冷CCD、程控高压源、匀胶机、各种退火炉等。
千级超净间
光刻机
ICP刻蚀系统
3)染料敏化太阳能电池制备和测试平台
模拟光源
电化学工作站
紫外可见分光光度计