实验平台

1、超净室

2、薄膜制备工艺平台

课题组内现有包括射频/直流磁控溅射设备（如图1所示）、蒸发镀膜设备（如图2所示）等组成的薄膜制备工艺平台，可以生长绝缘性材料（HfO2、HfON、MgO等）、半导体材料（ZnO、NiO、MgZnO等）以及金属电极材料（Au、Au/Ni、Pt、Al等）薄膜。

图1 射频/直流磁控溅射镀膜设备

图2 热蒸发镀膜设备

3、微纳加工工艺平台

微纳加工工艺平台包括VLS气相输运法管式炉设备、光刻设备（图3 左）、氧化及扩散平面工艺设备（图3 中、右）、水热法纳米结构制备工艺设备、静电纺丝工艺设备等，可制备、生长微纳结构材料并进一步进行改性和表面修饰等。

图3 微纳加工工艺平台

4、场发射测试平台

课题组现有包括真空室、控制系统以及测量系统在内的完整的场致电子发射性能测试设备，可满足在真空、高压环境下材料的场发射性能测试要求。

图4 场发射性能测试装置

5、太阳能电池制备及测试平台

在国家863计划的支持下，课题组现配备有一整套包含清洗、溅射镀膜、甩胶、退火、蒸镀电极、初步封装、性能测试等完备的有机无机复合薄膜太阳能电池制备及测试平台，可完成该体系电池制备与性能研究的工作。图5所示为光刻和通风厨设备（左）以及真空手套箱设备（右），可在其中完成环境条件要求较高的实验。图6（左）所示光源可实现太阳光的模拟，方便有机太阳能电池的测试。图6（右）所示为染料敏化太阳能电池的电化学工作站，可实现电池参数表征。